Uvod izdelka

12 inch(300mm) Polished Wafer DSC01251 730

12 inch(300mm) Polished Wafer DSC01700 730

Lastnosti materiala

Parameter	Značilno	Metoda nadzora ASTM
Tip/dopant	P, Boron N, fosfor N, antimon N, arzen	F42
Usmeritve	<100>, <111>Odrežite orientacije na specifikacije stranke	F26
Vsebnost kisika	10¹⁹PPMA tolerance po meri po specifikaciji stranke	F121
Vsebnost ogljika	< 0.6 ppmA	F123
Upornost območja, p, boron-n, fosforna	0.001 - 50 ohm cm 0.1 - 40 ohm cm 0.005 - 0.025 ohm cm <0,005 OHM CM	F84

Mehanske lastnosti

Parameter	Glavna	Spremljajte/ preizkusite a	Preizkus	Metoda ASTM
Premer	300 ± 0,2 mm	300 ± 0,2 mm	300 ± 0,5 mm	F613
Debelina	775 ± 20 µm (standard)	775 ± 25 µm (standardno) 450 ± 25 µm 625 ± 25 µm 1000 ± 25 µm 1300 ± 25 µm 1500 ± 25 µm	775 ± 50 µm (standard)	F533
TTV	< 5 µm	< 10 µm	< 15 µm	F657
Priklon	< 30 µm	< 30 µm	< 50 µm	F657
Zavitek	< 30 µm	< 30 µm	< 50 µm	F657
Zaokrožitev roba	Pol-STD			F928
Označevanje	Primarna pol-flat, pol-STD Flats Jeida Flat, Notch			F26, F671

Kakovost površine

Parameter	Glavna	Spremljajte/ preizkusite a	Preizkus	Metoda ASTM
Sprednja stranska merila
Površinsko stanje	Kemični mehanski polirani	Kemični mehanski polirani	Kemični mehanski polirani	F523
Površinska hrapavost	< 2 A°	< 2 A°	< 2 A°
Contamination,Particles @ >0.3 µm	= 20	= 20	= 30	F523
Meglica, jame, pomarančna lupina	Nobenega	Nobenega	Nobenega	F523
Žage, črte	Nobenega	Nobenega	Nobenega	F523
Zadnje stranske merila
Razpoke, crowsfeet, žage, madeži	Nobenega	Nobenega	Nobenega	F523
Površinsko stanje	Kavstično jedkan			F523

Opis izdelka

Kot nalašč za aplikacije za mikrofluidike. Za mikroelektroniko ali aplikacije MEMS nas kontaktirajte za podrobne specifikacije.

Medtem ko se polprevodniške naprave še naprej zmanjšujejo, je za rezine vse bolj pomembno, da imajo visoko kakovost površine na sprednji in zadnji strani. Trenutno so te rezine najpogostejše v mikroelektromehanskih sistemih (MEMS), vezanju rezin, izdelavi silicija na izolatorju (SOI) in aplikacijah s tesnimi zahtevami glede ravljivosti. Mikroelektronika priznava razvoj industrije polprevodnikov in je zavezana k iskanju dolgoročnih rešitev za vse stranke.

Velika zaloga dvojnih stranskih poliranih rezin v vseh premerih rezin, ki segajo od 100 mm do 300 mm. Če vaša specifikacija ni na voljo v našem inventarju, smo vzpostavili dolgoročne odnose s številnimi prodajalci, ki so sposobni izdelovati rezine po meri, da ustrezajo kakršnim koli edinstvenim specifikacijam. Dvojne polirane rezine so na voljo v siliciju, steklu in drugih materialih, ki se običajno uporabljajo v industriji polprevodnikov.

Prilagojeno kockanje in poliranje je tudi v skladu z vašimi zahtevami. Prosimo, da nas kontaktirate.

Funkcije izdelka

· 12 "P/N vrsta, polirana silikonska reža (25 psov)

· Orientacija: 300

· Upornost: 0.1 - 40 ohm • cm (lahko se razlikuje od serije do serije)

· Debelina: 775+/-20um

· Prime/monitor/preskusna ocena

Priljubljena oznake: 12 -palčna (300 mm) rezin, Kitajska, dobavitelji, proizvajalci, tovarna, narejena na Kitajskem