Uvod izdelka

8 inch(200mm) Polished Wafer DSC01147 730

8 inch(200mm) Polished Wafer DSC01144 730

Lastnosti materiala

Parameter	Značilno	Metoda nadzora ASTM
Tip/dopant	P, Boron N, fosfor N, antimon N, arzen	F42
Usmeritve	<100>, <111>Odrežite orientacije na specifikacije stranke	F26
Vsebnost kisika	10¹⁹PPMA tolerance po meri po specifikaciji stranke	F121
Vsebnost ogljika	< 0.6 ppmA	F123
Upornost območja, p, boron-n, fosforna	0.001 - 50 ohm cm 0.1 - 40 ohm cm 0.005 - 0.025 ohm cm <0,005 OHM CM	F84

Mehanske lastnosti

Parameter	Glavna	Spremljajte/ preizkusite a	Test	Metoda ASTM
Premer	200 ± 0,2 mm	200 ± 0,2 mm	200 ± 0,5 mm	F613
Debelina	725 ± 20 µm (standard)	725 ± 25 µm (standardno) 450 ± 25 µm 625 ± 25 µm 1000 ± 25 µm 1300 ± 25 µm 1500 ± 25 µm	725 ± 50 µm (standard)	F533
TTV	< 5 µm	< 10 µm	< 15 µm	F657
Priklon	< 30 µm	< 30 µm	< 50 µm	F657
Zavitek	< 30 µm	< 30 µm	< 50 µm	F657
Zaokrožitev roba	Pol-STD			F928
Označevanje	Primarna pol-flat, pol-STD Flats Jeida Flat, Notch			F26, F671

Kakovost površine

Parameter	Glavna	Spremljajte/ preizkusite a	Test	Metoda ASTM
Sprednja stranska merila
Površinsko stanje	Kemični mehanski polirani	Kemični mehanski polirani	Kemični mehanski polirani	F523
Površinska hrapavost	< 2 A°	< 2 A°	< 2 A°
Contamination,Particles @ >0.3 µm	= 20	= 20	= 30	F523
Meglica, jame, pomarančna lupina	Nobenega	Nobenega	Nobenega	F523
Žage, črte	Nobenega	Nobenega	Nobenega	F523
Zadnje stranske merila
Razpoke, crowsfeet, žage, madeži	Nobenega	Nobenega	Nobenega	F523
Površinsko stanje	Kavstično jedkan			F523

Opis izdelka

Kot nalašč za aplikacije Microfluidics . za mikroelektroniko ali MEMS aplikacije, se obrnite na nas za podrobne specifikacije .

Mikroelektronična linija izdelkov vključuje tako enojne polirane (SSP) kot z dvojno stransko polirano (DSP) rezino rezine . dvojne stranske polirane rezine, ki se običajno zahtevajo v polprevodnikih, MEMS in drugih aplikacijah, pri katerih so potrebni za naprave in so potrebni tudi za dvojne strani, ki jih potrebujejo dvojne strani, ki so tudi za dvojne strani, ki so potrebni {{1}. projekti .

Velika zaloga dvojnih stranskih poliranih rezin v vseh premerih rezin, ki segajo od 100 mm do 300 mm . Podpredredna industrija .

Prilagojeno kockanje in poliranje je tudi v skladu z vašimi zahtevami . Prosimo, da nas kontaktirate .

Funkcije izdelka

· 8 "P/N vrsta, polirana silikonska rezina (25 psov)

· Orientacija: 200

· Upor: 0.1 - 40 ohm • cm (lahko se razlikuje od serije do serije)

· Debelina: 725+/-20 um

· Prime/monitor/preskusna ocena

Priljubljena oznake: 8 -palčna (200 mm) rezin, Kitajska, dobavitelji, proizvajalci, tovarna, narejena na Kitajskem