】 Predstavitev izdelka


MATERIALNE LASTNOSTI
Parameter | Značilno | Metoda nadzora ASTM |
Tip / Dopant | P, bor N, fosfor N, antimon N, arzen | F42 |
Usmeritve | <100>, <111> odrezane orientacije po specifikacijah stranke111>100> | F26 |
Vsebnost kisika | 10 18 ppmA Tolerance po meri kupca | F121 |
Vsebina ogljika | <0,5 ppma="" tolerance="" po="" meri="">0,5> | F123 |
Območja odpornosti-P, bor-N, fosfor-N, antimon-N, arzen | 0,001 - 50 ohm · cm | F84 |
MEHANSKE LASTNOSTI
Parameter | Prime | Monitor / test A | Test | Metoda ASTM |
Premer | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,2 mm | 100 ± 0,5 mm | F613 |
Debelina | 525 ± 20 µm (standardno) | 525 ± 25 µm (standard) 381 ± 25 µm 625 ± 25 µm 700 ± 25 µm 800 ± 25 µm 1000 ± 25 µm 1500 ± 25 µm | 525 ± 50 µm (standardno) | F533 |
TTV | <5>5> | <10>10> | <15>15> | F657 |
Bow | <30>30> | <30>30> | <40>40> | F657 |
Zavijte | <30>30> | <30>30> | <40>40> | F657 |
Zaokroževanje robov | SEMI-STD | F928 | ||
Označevanje | Stanovanja SEMI-STD, primarno SEMI-Flat | F26, F671 | ||
KVALITETA POVRŠINE
Parameter | Prime | Monitor / test A | Test | Metoda ASTM |
Merila za sprednjo stran | ||||
Stanje površine | Kemično mehansko poliranje | Kemično mehansko poliranje | Kemično mehansko poliranje | F523 |
Površinska hrapavost | <2 a="">2> | <2 a="">2> | <2 a="">2> | |
Kontaminacija, delci> 0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Haze, jame, pomarančno lupino | Jih ni | Jih ni | Jih ni | F523 |
Označevalci, trakovi | Jih ni | Jih ni | Jih ni | F523 |
Merila za hrbtno stran | ||||
Razpoke, vrane, madeži, madeži | Jih ni | Jih ni | Jih ni | F523 |
Stanje površine | Kavstično jedkano | F523 | ||
】 Opis izdelka
Linija izdelkov mikroelektronike vključuje tako polirane (SSP) kot dvostransko polirane (DSP) podlage. V polprevodnikih, MEMS in drugih aplikacijah, kjer so potrebne rezine s strogo nadzorovanimi karakteristikami ploskosti, so običajno potrebne polirane rezine.
Ponujamo tudi pravokotne in kvadratne rezine. V bistvu dosegljiv obseg dolžin robov za silicijeve rezine je 5 x 5 mm2 ... 100 x 120 mm2 itd. Izdelek je odvisen od materiala in od števila potrebnih rezin.
Prilagojene kocke in poliranje je na voljo tudi v skladu z vašimi zahtevami. Prosimo vas, da nas kontaktirate.
】 Značilnosti izdelka
· 4 "P / N tip, polirani silicijev rezin (25 kosov)
· Usmerjenost: 100
· Upornost: 0,1 - 40 Ohm · cm (lahko se spreminja od serije do serije)
· Debelina: 525 +/- 20um
· Prime / Monitor / Test Grade
Priljubljena oznake: 4 palca (100mm) rezin, Kitajska, dobavitelji, proizvajalci, tovarne, na Kitajskem








