】 Predstavitev izdelka
MATERIALNE LASTNOSTI
Parameter | Značilno | Metoda nadzora ASTM |
Tip / Dopant | P, bor N, fosfor N, antimon N, arzen | F42 |
Usmeritve | <100>, <111> odrezane orientacije po specifikacijah stranke111>100> | F26 |
Vsebnost kisika | 10 19 ppmA Tolerance po meri kupca | F121 |
Vsebina ogljika | <0,6>0,6> | F123 |
Območja odpornosti-P, bor-N, fosfor-N, antimon-N, arzen | 0,001 - 50 ohm · cm | F84 |
MEHANSKE LASTNOSTI
Parameter | Prime | Monitor / test A | Test | Metoda ASTM |
Premer | 150 ± 0,2 mm | 150 ± 0,2 mm | 150 ± 0,5 mm | F613 |
Debelina | 675 ± 20 µm (standardno) | 675 ± 25 µm (standard) 450 ± 25 µm 625 ± 25 µm 1000 ± 25 µm 1300 ± 25 µm 1500 ± 25 µm | 675 ± 50 µm (standardno) | F533 |
TTV | <5>5> | <10>10> | <15>15> | F657 |
Bow | <30>30> | <30>30> | <50>50> | F657 |
Zavijte | <30>30> | <30>30> | <50>50> | F657 |
Zaokroževanje robov | SEMI-STD | F928 | ||
Označevanje | Samo SEMI-Stanovanje, SEMI-STD Stanovanja Jeida Flat, Notch | F26, F671 | ||
KVALITETA POVRŠINE
Parameter | Prime | Monitor / test A | Test | Metoda ASTM |
Merila za sprednjo stran | ||||
Stanje površine | Kemično mehansko poliranje | Kemično mehansko poliranje | Kemično mehansko poliranje | F523 |
Površinska hrapavost | <2 a="">2> | <2 a="">2> | <2 a="">2> | |
Kontaminacija, delci> 0,3 µm | = 20 | = 20 | = 30 | F523 |
Haze, jame, pomarančno lupino | Jih ni | Jih ni | Jih ni | F523 |
Označevalci, trakovi | Jih ni | Jih ni | Jih ni | F523 |
Merila za hrbtno stran | ||||
Razpoke, vrane, madeži, madeži | Jih ni | Jih ni | Jih ni | F523 |
Stanje površine | Kavstično jedkano | F523 | ||
】 Opis izdelka
Idealen za mikrofluidne aplikacije. Za mikroelektroniko ali MEMS aplikacije se obrnite na nas za podrobne specifikacije.
Polprevodniške naprave se še naprej krčijo, vedno bolj je pomembno, da imajo ploščice visoko kakovost površine tako na sprednji kot na zadnji strani. Trenutno so te rezine najpogostejše v mikroelektromehanskih sistemih (MEMS), vezava rezin, izdelava silicija na izolatorju (SOI) in aplikacije z zahtevami po tesnem ravnanju. Mikroelektronika priznava razvoj polprevodniške industrije in se zavzema za iskanje dolgoročnih rešitev za vse zahteve strank.
Velika zaloga dvojnih stranskih poliranih rezin v vseh premerih rezin od 100mm do 300mm. Če vaša specifikacija ni na voljo v našem inventarju, smo vzpostavili dolgoročne odnose s številnimi prodajalci, ki so sposobni izdelati rezine po meri, da ustrezajo vsem edinstvenim specifikacijam. Dvojno stranske polirane rezine so na voljo v siliciju, steklu in drugih materialih, ki se običajno uporabljajo v industriji polprevodnikov.
Prilagojene kocke in poliranje je na voljo tudi v skladu z vašimi zahtevami. Prosimo vas, da nas kontaktirate.
】 Značilnosti izdelka
· 6 "P / N tip, polirani silicijev rezin (25 kosov)
· Usmerjenost: 150
· Odpornost: 0,1 - 40 ohm · cm (lahko se spreminja od serije do serije)
· Debelina: 675 +/- 20um
· Prime / Monitor / Test Grade
Priljubljena oznake: 6-palčni (150mm) rezin, Kitajska, dobavitelji, proizvajalci, tovarna, na Kitajskem








